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PVD涂层有哪些---
2金属碳化物涂层
???金属Ti、V、w、’I、a、z?、M.、t:r等都可与碳原子反应,生成金属碳化物涂层,与金属氯化物相似,金属碳化物涂层也是具有化学稳定性好、熔点高、硬度大的持点,其硬度比同种元素氮化物的硬度还要大,这是由于碳化物有更加明显的共价键所致,但韧性不好,较脆.较常使用的过渡族金属的碳化物有T汇、zr(:、Hf(”、W(:、Mo—C、Cr—C等,正在研究的有VC、NtlC和T儿等,这些材料的结构也蜀相应的氮化物相类似.皿族元素的碳化物为一碳化物,V族元素的
碳化物为B1—Nn门结构,而V族元素碳化物具有相当复朵的结构。